웨이퍼 수율증가 도금첨가제의 자동 온라인 관리
CVS (cyclic voltammetric stripping)를 기반으로한 새로운 세대의 다마신 구리 도금액 온라인 분석기는 소재의 수율 향상을 제공할수 있다. μm 미만의 고 종횡비 구조를 빈공간 없이 채우는데 일반적으로 요구되는 엄격한 공정은 첨가제를 좁은 범위내에서 유지하는 것이 중요하다. 이 문제는 정기적으...
응용도금
·
na · Web · Peter Bratin ·
Gene Chalyt
외 ..
참조 41회
|
